高新區“尖板眼” | 以自主創新破壟斷，湖北超芯做深做精半導體清洗設備

初夏已至，在湖北超芯智能裝備有限責任公司（以下簡稱“超芯”）的裝配車間內，技術工人正在對全自動刻蝕機進行組裝、點檢、調試，生產熱度正持續升溫。

半導體作為數字技術發展的基礎，每年為全球貢獻超過5000億美元的產值。而在整個半導體產業鏈中，裝備制造是最具挑戰的環節之一。

如何攻克半導體裝備制造相關技術攻堅與產業瓶頸難題？“超芯”的回答是：創新！

全自動刻蝕機。

這家位于孝感高新區的高新技術企業，以設計研發和制造顯示半導體清洗設備為主，核心產品線涵蓋全自動刻蝕機、超高壓濺射噴霧系統、納米氣泡發生系統等清洗設備。

“超芯”總經理劉春新介紹，在2020年，公司就已布局半導體行業。2023年，為適應市場需求，在孝感設立生產制造基地，專注于半導體顯示行業自動化制造設備研發、設計、組裝、測試以及行業內設備開級改造，為客戶提供全方位WET制程設備方案和制作。

憑借自主創新的精密控制技術，“超芯”持續做深做精半導體清洗設備，部分產品打破了國外廠商在高端半導體清洗設備領域的長期壟斷，突破了多項“卡脖子”技術難題，解決了行業“痛點”，有效提升半導體制造的整體水平和競爭力。

“半導體和面板最大的敵人就是微顆粒。以全自動刻蝕機為例，該產品具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，應用于半導體硅片支撐，適配12英寸晶圓制造需求?！眲⒋盒抡f，可實現微觀層面100納米級顆粒的精準清洗，清洗效果處于國內領先地位。相較于國外同類設備，能有效節約40%-50%的生產成本，服務成本僅為國外的三分之一，是孝感乃至湖北省首個同類自主研發制造的設備。

據了解，該企業去年出貨量達70-80臺，實現產值1000萬元；今年，隨著市場需求擴大和產能提升，預計產值將突破3000萬元。目前，該企業相關設備已廣泛應用于京東方、華星光電等頭部企業的先進生產線，成為國內顯示半導體產業鏈國產化進程中的重要參與者。

策劃：左硯文、喇曉光

記者：楊卓玉

通訊員：宋晴

出品：孝感高新區辦公室、荊楚網（湖北日報網）